公开号：	US2007186643A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	热的液体流量传感器及其形成方法
摘要：	该专利是关于热的液体流量传感器及其形成方法。该传感器有一个基体和一个或多个位于基体上的传感元件，用来传感液体属性。该液体流量传感器，可以作为一个微传感器有一个微型结构，有一个位于基体上覆盖传感元件的亲水层。该亲水层更适宜从在玻璃材料中形成，以硅酸盐或磷硅酸盐为例。氮化硅层可通过等离子氧化或氧离子注入作用被氧化，从而在其上形成亲水层。各种各样的其他亲水化合物可以被用来形成亲水层，例如金、钯和金刚石。