公开号：	US2007187603A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	MEMS辐射计
摘要：	辐射计传感器包括一块目标板和在基座上支撑目标板的微机械弹簧。该结构允许目标板在垂直于基座方向上有位移，以回应由目标板的顶面接收到的辐射。该传感器被密封在外壳内，并且界定了一个密封的内部腔，这个腔是真空的。目标板更适宜非可变性的回应接收到的辐射。电容或压电传感器用来检测目标板的位移，测量到的位移与确定被接收的辐射能级相关。辐射计传感器的输出信号被量化和处理以便确定辐射能级。