公开号：	US2007220971A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	电容式大容量声波磁陀螺仪
摘要：	本文介绍的电容式大容量声波x，y和z轴陀螺仪应用在（100）而且是硅衬底。典型的陀螺仪包括一个把柄基底，一个由把柄基体支撑的大块声波谐振元件，周围布满电极并且用非常微小的电容缺口与谐振器件分开。这些电极可以激发并检测出在谐振腔中大容量声波共振模式下的至少两次衰减。优点包括减小了体积，更高的品质因数即提高了噪声和干扰的稳定性，更高的带宽而且提高了抵抗振动的能力。此外在大气或低压状态下可以保持高的品质因数就降低了陀螺仪的包装成本和复杂度。