公开号：	US2007222472A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	碳纳米管基传感器
摘要：	本发明的技术是在包装原处形成压力传感器。碳纳米管的第一阵列对齐成第一方向被放置在基体或晶圆片模具的第一位置。第一阵列用聚合物插层。第一聚合物插层阵列用一保护层覆盖。碳纳米管的第二阵列对齐成第二方向被放置在基体或圆晶片模具的第二位置。第二阵列也用聚合物插层。