公开号：	US2007227258A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	应力测量方法和系统
摘要：	当一能量光束照射到样品的评估区域，就获得了射入到样品评估区域的能量光束的相位分布曲线，通过分析已获得的相位分布曲线就可以测得在评估区域的应力分布。这种测量应力的方法是基于相位分布曲线，这样就可以不用分析待评估试样的晶体结构而得到测量值。所应用的相位分布曲线是关于应力，密度和折射率的二维曲线。