公开号：	US2007230768A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	检验基体的方法和用具
摘要：	本文介绍的改进了的检验和审查基体缺陷的方法和仪器。在应用中将多个或分立的探测器应用到一个粒子束系统中。