公开号：	US2006179945A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	一种共线性驱动阵列的微机械装置
摘要：	本装置包括与第一组固定驱动梳状剔除器互相交叉的第一组驱动梳状剔除器和第二组固定驱动梳状剔除器互相交叉的第二组驱动梳状剔除器。每个固定驱动梳状剔除器阵列都使用一些铆钉固定在基板上。固定第一组和第二组固定驱动梳状剔除器的铆钉在横向上相对于本装置的运动被分列成共模方式。