公开号：	US2007146859A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	光调制模块
摘要：	介绍了一种带有连接层的光调制模块，包括：衬底；衬底上的绝缘层；与绝缘层有特定间隔的带状层；位于带状层两端的保护层；位于保护层上的连接层，具有粘性，防止气体扩散；与保护层相连的压电部件，连接层位于两者中间，压电部件可驱动绝缘层的中部靠近或远离衬底。在该发明的一些例子中，通过放置连接层，可以最大化光的衍射性质和光调制模块的可靠性，粘性提高，防止了氧气在压电层下表面的扩散。