| 摘要： | 本文提出一种利用交流方法测试半导体仪器的装置和方法。本测试装置包括一个耦合到集成电路的信号终端的测试板电容。这个测试板耦合到测试接收电路上以接收和输出测试板电容输出的信息。另外测试板耦合到一个测试发射电路以发送数据信号到信号终端机中。一个测试单元可以耦合到半导体仪器中以评估所检测的数据信号相对于标准的的精确程度。还可以通过一个电容将测试板耦合到多元的信号终端中以进行测试和评估。数据信号由检测板检测并通过终端发送或由数据终端检测由检测板发送这两种模式都可以和测试标准进行比对以对两种方式进行评估。 |