公开号：	US2008030706A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	照明光学系统，曝光方法和设计方法
摘要：	曝光操作的执行用于形成图像，在曝光中两个相邻近的区域产生微图形的强度差异，用足够精准的制造过程形成了微图形，并且在复杂的制造过程中没有使用高价的光掩模，例如交替相移掩模。双极照明的光线分布形成相应的L$S模板。双极照明包括两种照明模式。