公开号：	US2006168703A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	扫描探针显微镜的仪器和方法
摘要：	本发明设计一个装置和方法用于扫描探针显微镜，包括了一个测量模块，测量模块包括了一个横向移位单元以取代平面上的探针，一个垂直移位单元以取代垂直平面的探针，还有一个样品接收部件以接收样品。测量部件中还有一个冷凝器光路，并将样品接收部件定位与冷凝器光路上。