公开号：	US2006169900A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	基于带点粒子的测试仪器以及该仪器在制造业中的使用
摘要：	用本文提出的系统可以进一步提高速度，也就是提高所提供的扫描式电子显微镜的扫描速度。一种检查基板表面检测仪器产生的电子束从发射电子源，然后在希望的放大倍数下在样品的方向产生一个图像以产生一个交叉。当交叉传递开来的时候，作为噪声的电子通过一个孔从交叉中转移走，以使得交叉变成一个平行的电子束以适当的方式照射基板。这样的电子束使得照明度小于百分之10。然后使用检测仪器检测到从样品表面散射开的电子。