公开号：	US7362495B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	用于MEMS设备的静电散热片
摘要：	本专利的MEMS包括一个铰链，它从基底向外放置并至少部分支持从自身向外放置的导体。导体能够绕第一轴旋转。设备包括了一个或多个从导体向内放置并与导体接触的静电散热片。散热片沿着不同于第一轴的第二轴放置。MEMS还包括了基底向外导体向内的一个或数个电极。电极被第一空气隙与导体隔开，并被不同于第一空气隙的第二空气隙与静电散热片隔开。