| 摘要： | 传感器的壳体（140）可以支持一个有灵活性的活动基板（110）与一个与其相应配置的固定基板（120）的外围部分。一个振荡器（130）被固定在活动基板的下表面。五个下电极层（F1到F5；F1和F2被放置在F5的前面和后面）被加工在活动基板的上表面。五个上电极层（E1到E5）被加工在固定基板的下表面以与下电极相对。在检测X轴的角速度Ω时，在一对预设的电极对（E5,F5）上加一个交流电压以是振荡器可以承受Z轴方向上的震荡Uz。因此，与角速度Ω成比例的地球自转偏向力-科里奥利力，Fy，被加在振荡器的Y轴方向上。由于此地球自转偏向力，振荡器在Y轴方向上发生位移。因此，相对电极层（E3,F3）在Y轴正方向上的排列距离变小，相对电极层（E4,F4）在Y轴负方向上的排列距离变大。因此，电容值C3增大而电容值C4减小。通过电容值的变化，可以检测到科里奥利力Fy的幅度，也可以由此得到角加速度Ω的值。相似的，也可以检测到Y轴和Z轴的角加速度Ω的值。 |