公开号：	US2007251292A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	晶片流量传感器
摘要：	一个晶片流量传感器包括电子元器件，比如在一块基底的顶端含有温度传感器和一个加热器，在基底的底部有一个通道。这个通道通过超滤膜的基体材料与基体顶端分离。流经通道的液体通过薄膜使得加热器，上游温度传感器，下游温度传感器，粘合垫和粘合线相互隔离。因为薄膜很薄所以热流可以很轻易的经过。这样，流量传感器的电子元件，粘合的垫和线与流经通道的流体完全分离，但是可以正常工作因为它们不是热分离。