公开号：	US2007272017A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	闭环梳状驱动传感器
摘要：	闭环梳状驱动设备降低了一定的普通模式传感器的缺点。设备包括一个梳状结构，电极，一个基体和一个位置传感器。这个梳状结构包括两个梳状驱动部分，每一个具有至少两个子部分。梳状驱动的每一个子部分相对于驱动轴成对角线分布。分立的拾取部分伴随着电极来决定哪两个驱动部分应该接收电压差，并确定电压差的大小。在每一驱动部分的对角线关系消除了许多在以前设计中经常发生的由于大规模因素而发生的错误。