公开号：	US2007273874A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	凹凸检测的方法和仪器
摘要：	本文介绍动态成像，校准和测量凸起高度和同一平面上不同凹凸部分的共面性的方法。本方法包括从至少一个光源发出多光谱光射向不同的凹凸部分，成像设备接收第一波长的光这样就可以获得不同凹凸部分的至少一部分的顶视图像。第一波长光反映了在表面上的第一个角的凹凸部分。成像设备接收到的第二波长光可以获得凹凸部分至少一部分的至少倾斜向一侧的视图图像。第二波长光反映了在表面上的第二个角的凹凸部分。获得的图像经过处理确定凹凸的绝对高度和共面性。一个相关的设备同样被介绍。