公开号：	US2007277616A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	微机电系统压力传感器
摘要：	微机电系统压力传感器包括定义了一个开口的基础结构，与基础结构耦合的一系列支撑元件，一个由支撑元件支撑的薄膜隔膜，和至少与一个支撑元件连接的至少一个的应力元件。