公开号：	US2007278407A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	微机械热传感器
摘要：	可以在T赫兹范围内工作的辐射能传感器包括：一个微天线，在由微制造的硅片装配的介电薄膜可以包含一个二维图形化的金属薄膜；一个热隔离的微结构，将能量从微天线耦合到微结构的耦合机制，耦合机制提供微天线和微结构之间的高度热隔离；一个微结构上的温度信号探测器和用于接收温度信号的信号处理电极并将其处理成有用的数据。