公开号：	US2007285653A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	缺陷检测的方法和仪器
摘要：	（a）扫描试样表面的光经过与缺陷物体被观察到的过程相同的过程，通过扫射光强度探测缺陷存在，缺陷的位置和由探测到的缺陷引起的扫描光强变化。（b）在步骤a检测到的缺陷被分为一类电子束照射到试样表面时通过观察二次电子束发射可以被探测到另一种就是不能被探测到。（c）提供能够被计入缺陷的散射光强的判定阈值被确定，根据步骤b的分类结果和由检测到的缺陷引起的散射光强。