| 摘要： | 本文提出的抛光垫的侧面轮廓厚度和弹性系数的测量仪器包括一个涡流传感器和一个挤压涡流传感器的机械装置。由涡流传感器的输出信号我们就能得到抛光垫的厚度。抛光垫的弹性模量的是通过测量不同的外力作用在涡流传感器上，传感器的输出信号得出的。通过扫描整个抛光垫或者沿着抛光垫的直径方向进行的扫描就能获得抛光垫的侧面厚度和弹性模量。测量该抛光垫的厚度是用来调整抛光垫的制作方法，以加厚容易受腐蚀的区域。通过本发明设计的一起，可以很好的维护住发光垫的厚度的均匀性，从而延长了它的使用寿命和更好的抛光坏品去除率。 |