公开号：	US2006192974A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	干涉仪用微光机电系统传感器
摘要：	本发明设计一种使用微光机电系统测量加速度，压力，液体流量的光学测量仪器和方法。这个高灵敏度和高分辨率的仪器包括一个可移动的物块，固定的物块，一个光源和光侦测器.光源发出的一束光照射在可移动的物块和不可移动的物块上后转化成两束光。可以通过检测两束光线的干涉结果得到加速度或者压力的值。微光机电系统也可以和光检测器和平面波检测器集成在一起。采用两个相同的检测结构就能实现差分放大功能。