公开号：	US2008041164A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	自校准压力传感器
摘要：	本发明关于自校准压力传感器系统和方法。该压力传感器装置包括一个膜片，至少有一个与膜片相连接并能促使膜片产生挠曲的驱动元件，和至少有一个连接到膜片的应变计。该应变计可测量膜片的挠曲量。驱动元件通常情况下是压电驱动器并与膜片连接。衡量压力传感器的方法包括诱导膜片挠曲，挠度测量，确定频变响应，基于上述机械特性计算膜片的响应系数。该响应系数用来评估传感器。该传感器可以基于响应系数进行重新校准或自校准系数。