公开号：	US2008052932A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	磁性MENS传感器
摘要：	本发明涉及微机电系统（MEMS）和磁性MENS传感器。该传感器包括一个带一表面的基板，第一个磁场探测器在基板表面上，第二个磁场探测器放置在接近第一磁场探测器的基板表面上，第三磁场探测器放置在与第一个和第二磁场探测器都接近的基板表面上。每一个磁场探测器都能探测到外部相互正交三个方向的磁场。在实际应用中，磁性MEMS传感器可用于电子罗盘。本次披露还涉及在单一晶片制造磁性MENS设备，其中包括多个MEMS传感器，如电子罗盘。