| 摘要： | 描述了为了分辨步进光刻机和扫描仪的有效源一致性矩阵的空间依赖性和角度的一个解决方法和设备。首先原位源计量仪器和原位偏振仪器相结合成为原位源成像起偏器或者ISIP。该ISIP被加载到一个光刻曝光工具上，并使之成为一直线。然后连接到一个合适的传感器记录媒体。记录传感器包括晶圆涂层或电子传感器以捕捉到各种不同点的影响强度。测量结果被输入了计算机程序，然后作为依据重构了源一致矩阵作为多个不同点的方向余弦。相当详细地介绍了ISIP的配置。在ISIP应用包括极化深紫外光源映射和EUV光刻技术，流程优化，过程监控，以及芯片制造。 |