公开号：	US2008127741A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	扩大流量流经的压力传感器
摘要：	基于压力传感器测量流量的微机电系统，该系统包括一个位于介质密封层和导电密封层间的压力传感芯片。这种系统包括一个压力感媒体之间的密封和导电密封位于死亡。传感膜片一般与压力传感芯片相连接，其中当由压力作用时传感膜片会发生偏移。通常在传感膜上嵌入一个或多个电阻形成电阻电路，用来检测施加在膜片上的作用力。通常将一专用集成电路与电阻电路和传感芯片连接，其中将ASIC放置在用于信号调节的引线框上实现检测压力变化。