公开号：	US2008158572A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	薄膜厚度测量系统及方法
摘要：	这是一个使用激光三角测量装置测量透明或不透明多层膜厚度的测量系统。从三角测量设备中发射出激光束，垂直照射到多层膜的表面，两个探测器分别在距离第一光轴和第二光轴不同距离的地方检测激光束的第一和第二反射线，从而产生两个探测信号。有一个控制器执行三角测量程序和联立方程程序来处理探测信号，进而得出外透明层的厚度。对于在外透明层之间夹有不透明层的多层膜，两个测量设备置于膜的两个相反方向来测量膜的每个外透明层，通过两个装置之间的距离，不透明层的厚度也就得到了。