| 摘要： | 本发明的目的是提供一个半导体加速度传感器，它能够感知一个振动表面的两个平行方向的加速度和两个正交的加速度，同时具有适当的灵敏度。我们构建了一个半导体加速度传感器10，由从振动片片表面中心到晶圆的框架部分12a延伸，各自沿X轴方向和Y轴方向相互正交的13a至13d振动片组成。在振动片的上表面，从Rx1t到Rx4,Ry1到Ry4,Rz1到Rz4形成压电电阻。振动片13a和13b沿X轴方向单线布置，振动片13c和13d沿Y轴方向单线布置，正交截面到轴的区域分别根据在X轴方向和Y轴方向的加速度最大值设定。 |