公开号：	US2008297807A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	高精度代码板和地震检波器
摘要：	披露了一种使用高度精确的代码板位置测量系统，用来成像具有高深度焦距的衍射光栅的装置和方法。位置可能被测量到精确度为1nm或者更小。该系统可能被用在像集成电路制造，低频和超低频地震检波器，和其他超低频声波探测器这些领域。