| 摘要： | 本发明一个具体化的体现是创造了一个微机械旋转速度传感器，该传感器具有第一科里奥利质量元件和第二科里奥利质量元件，它们有可能是在一个基片的表面上。微机械旋转速度传感器具体化的体现是可能有一个激活的设备，第一科里奥利质量元件和第二科里奥利质量元件能够通过该设备获得沿着第一轴向的振动。微机械旋转速度传感器可能还有一个检测装置，第一科里奥利质量元件和第二科里奥利质量元件的变形能够沿着垂直于第一轴向的第二轴向被检测到，在相应的激活科里奥利力的基础上。第一轴向和第二轴向可能相对于基板表面平行运行。检测设备可能有一个第一检测质量设备和第二检测质量设备。当第一科里奥利质量元件，第二科里奥利质量元件，第一检测质量设备以及第二检测质量设备都休息时，它们重力的中心可能被认为是重力的共同质心。 |