公开号：	US2006196253A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	谐振传感器和传感系统
摘要：	本文介绍的传感器芯片包括一个基板和一个耦合到基板的可运动的元件，并且使之相对与基板更容易运动。该运动元件在第一方向相对于基板运动，在第二个方向则是回应基板的运动。第一个和第二个方向是不同的方向.该运动元件包括多个接收器。这些接收器被设置为按一定的顺序分别进行测量。