公开号：	US7171855B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	用于调节流体压力的温度感知传感器
摘要：	本发明提供了一个压力传感器，包含一个第一腔室，其中有一个第一柔性薄膜暴露于流体压力中并被配置为挠曲状的作为对流体压力变化和第一腔室中温度变化的反应，一个第二腔室含有一个第二柔性薄膜从流体中封闭并被配置为挠曲状作为对第二腔室中温度变化的反应，同时相关电路用于比较第一和第二薄膜的挠度，感知流体的压力。