摘要: | 本发明的课题在于提供一种荧光X射线分析装置等,其可针对包含多个非测定元素的无法指定其原子序数的各种试样,在更宽的适合范围内充分而正确地进行分析。设置算出机构,其根据假定的元素的浓度计算由试样中的各元素产生的2次X射线的理论强度,按照该理论强度和通过检测机构测定的测定强度一致的方式,对上述假定的元素的浓度进行最佳化计算,算出试样的元素的浓度,上述算出机构针对不测定荧光X射线的非测定元素假定多个非测定元素的浓度,并且代替从试样中的非测定元素产生的2次X射线,采用其数量至少与假定浓度的非测定元素相同的1次X射线的散射线,所采用的1次X射线的散射线包含用试样散射之前的波长不同的散射线。 |