公开号：	US7216547B1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	具有硅玻璃保护罩的压力传感器
摘要：	一种结合了硅玻璃料结合帽的压力传感器装置和方法。该压力传感器包括：硅传感器晶片，在其底面带有隔膜；安装在各个传感器晶片顶侧上的硅帽晶片；在传感器晶片上形成的多个硅传感器芯片；硅帽晶片，其被进行刻蚀，以便在隔膜的顶侧上形成多个基准腔；薄的玻璃料，其用以在传感器晶片和帽晶片之间形成晶片-晶片结合。感测器件，例如半导体芯片/传感器、压敏电阻，可以用于感测压力。晶片-晶片玻璃料结合改善了压力传感器的输出信号漂移和热性能，减轻了由阳极焊玻璃晶片形成的热不匹配。