摘要: | 一种制造薄膜磁性传感器的方法,其中包含:在绝缘基板的表面形成一投影,该绝缘基板由绝缘的非磁性材料形成,通过从表面区域移除绝缘基板不必要的部分或通过在绝缘基板表面上镀由绝缘的非磁性材料形成薄膜层;形成一对薄膜磁轭面对面的放置,投影介入它们之间并完全电力地使每一个都分开,该薄膜磁轭由镀层的由软磁性材料在绝缘基板的表面形成的薄膜形成具有投影形成于其上,由软磁性材料形成的部分移除的薄膜跟踪直到至少一个投影的尖端表面暴露在外面;同时在投影的尖端表面和毗邻投影的薄膜磁轭的上表面镀上具有比软磁性材料电阻率更高的巨磁阻薄膜,使得巨磁阻薄膜电力地连接到薄膜磁轭的上表面。 |