| 摘要： | 用于通过提供一减压舱（58）来感应恶劣环境中的流体压力，像轮胎中的空气压力，的压力传感器由一可变形薄膜（50）部分定义。可变形薄膜（50）至少部分由导电材料形成，同时减压舱（58）包含一处于参考压力下的流体。当任何压力与参考压力和流体压力之间不同时，可变形薄膜（50）会产生变形。一位于减压舱内的导电层（36）与可变形薄膜（50）间隔开，联合电路将可变形薄膜（50）和导电层（36）合并。导电层（36）和可变形薄膜（50）形成电容器的电极同时可变形薄膜（50）的变形改变其电容量，联合电路将电容量转化为输出信号指示流体的压力。导电层（36）这样安排从而通过可变形薄膜（50）的变形使流体能够从电容器的量极板之间被置换。排放两个电极之间的流体到固定电极的另一边，当保持减压舱密封时，避免挤压流体压力导致挤压薄膜阻尼。 |