公开号：	US7228742B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	用于真空室的超声波压力测量系统
摘要：	披露了一种用于真空室的压力测量系统，特别是，用于真空室的超声波压力测量系统。在这方面，这里提供了一种用于真空室的超声波压力测量系统，包括一真空室10其内部是理想的真空，超声波发射工具安装在靠近真空室10外围表面的外部用于发射超声波62到真空室10的内部；超声波接收工具用于接收在由超声波发射工具发射到真空室的显著的超声波62反射之后的反射波64；反射波探测工具用于探测来自超声波接收工具的反射波64；幅值—分析工具用于分析被反射波探测工具探测到的反射波64的幅值。