公开号：	US7401523B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	电容传感器及其制造工艺
摘要：	本文介绍电容传感器及其制造方法。它包含薄膜的基板形成电容的第一个极板；电容的第二个固定板与薄膜分开并形成符合要求的介电间距；连接基板和固定板的一系列导电元件；和一个支撑固定板和基板的边锁装置，它可以不通过导电元件而实现保持已定极板间距的作用。