| 摘要： | 这是一个用于诸如汽车轮胎那样恶劣环境的压力传感器（30），该传感器有一个部分由挠性膜片（50）组成的空间（58），该空间在一个参考压力下含有一定液体。在使用时，由于在参考压力和流体压力之间存在压力差，挠性膜片（50）发生偏离，因此，关联电路（34）能够将挠性膜片（50）的偏离转换为一个标示流体压力的输出信号。这个传感器是一个凭借内部凹形空间的微型机电系统设备，通过使用平版印刷术的掩蔽腐蚀和沉积技术形成了挠性膜片和关联电路。微型机电系统制造技术能够生产高容量的传感器，每个传感器的单位成本都很低。微型机电系统传感器如此小巧，以至于它能够被安装于诸如轮胎阀门的阀杆那样非常受限制的空间。 |