公开号：	US7260995B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	具备薄压力感应膜的压力感应器
摘要：	一个压力传感器具备一个部分由不足三微米厚实的膜构成的空间，跟流体压力接触，通过流体压力的变化和将弹性膜形变转变成指示流体压力的输出信号的关联电路，该空间可配置于从一个参考位置发生偏离。