公开号：	US7270009B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	膜片式压力传感器
摘要：	一个膜片压力传感器包括一个第一绝缘衬底，一个带膜片的导电性基体和一个第二绝缘衬底，该第二绝缘衬底附着有一个进气入口，以便在膜片和第一绝缘衬底之间形成一个压力参考空间，在膜片和第二绝缘衬底之间形成一个压力测量空间。测量由压力差在压力测量空间和压力参考空间之间产生的膜片形变，获得通过进气入口与压力测量空间联系的区域的压力值。此外，一个平面附着于第一和第二绝缘衬底中的至少一个的表面，该平面在外界环境温度下比该平面附着的绝缘衬底的热膨胀率更低。