公开号：	US7275432B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	加速度传感器和制造加速度传感器的方法
摘要：	加速度传感器包括一半导体基底，一传感元件成形在半导体基底上，一由多晶硅制造的粘合框架在半导体基底上形成包围传感元件，和一玻璃帽子粘合在由多晶硅制造的粘合框架的顶部表面当被从传感元件预设的距离间隔开时，在传感元件上面覆盖传感元件。由多晶硅制造的粘合框架不掺杂任何杂质。