公开号：	US2006203246A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	薄膜缺陷检测方法和仪器
摘要：	本文提出一种缺陷检测仪器，它的原理是使用一个光源投射线性光到透明薄膜上，光接收器接收通过薄膜的光然后检验薄膜。光接收器是以向下看薄膜的方式安装的，接收器的倾角角度与薄膜法线成0到50度角。光接收器的光轴相对与法线会旋转一个角度2转到薄膜的传输方向。角度2是以传输方向为基准角度大小是50分到60秒。