公开号：	US7278322B1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	半导体基底压力传感器
摘要：	本发明提供一压力传感器。该压力传感器包括一基底和若干个支撑结构固定在基底上。压力传感器还包含一集成加热元件的支柱结构。该支柱结构和支撑结构啮合以便在加热元件和基底之间创造一空气间隙。加热元件具有一电阻和空气间隙中的空气压力成比例。