公开号：	US7287433B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	压力传感器
摘要：	一种压力传感器，用于检测压力并基于传感器芯片的压电电阻效应输出信号，该压力传感器包括：衬底，其在一侧上具有传感器芯片和在另一侧上具有凹入部分；传感器芯片中的压电电阻；基座，其附装到衬底并具有通孔以在薄部分上将压力引入到传感器芯片；和填充在凹入部分和通孔中用于保护传感器芯片的凝胶材料。通孔的直径对基座的厚度的比值基本上在1至3的范围内。