公开号：	US7292047B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	高频电源
摘要：	高频电源提供高频能量给负载，其能量反射特性随着时间改变。电源包括一频率可变的能量产生器，一能量探测设备用于探测进入和来自负载的能量，一反射系数计算器用于计算反射系数，其基于探测到的进入和来自负荷的能量，一频率探测器引起能量产生器产生在预期频率范围内的不同频率的高频能量用于获得频率，将最小值给计算反射系数，一能量供应控制器用于引起能量产生器产生一高频能量，频率被频率探测器获得，用于供应高频能量给负载。