公开号：	US7296476B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	微机电系统压力传感器及其制作和使用方法
摘要：	根据某些实施方案，装置包括一定义了一平面的基层。该装置还包括一相对基层大体上正规的第一导电圆盘和第二导电圆盘，(i)相对于基层大体上正规，(ii)是可变的作为对压力的回应。