公开号：	US7305883B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	化学微机械微型传感器
摘要：	本发明提供了基于微机械的超声波传感技术的传感器。该传感器更适宜包括大量传感器元件，但是可能包括仅仅一个传感器元件。还提供了传感器阵列。传感器元件包括一功能化的薄膜通过一个基板由支架支撑。功能化薄膜，支架和基板一起形成了一个真空间隙。传感器元件被连接到一电路，该电路被配置为执行传感器元件在或者接近开放电路共振环境。功能化薄膜的机械共振频率对薄膜的粘合剂敏感。因此，传感器元件还包括一探测器，探测器提供一传感器输出对传感器元件的机械共振频率敏感。