公开号：	US7305888B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	光学干涉仪压力传感器
摘要：	真空测量单元具有一第一壳体和一薄膜，都是Al2O3陶瓷或者蓝宝石的。薄膜是平面的具有外围的边缘被第一封条连接到第一壳体以形成一参考真空室。一第二Al2O3陶瓷或者蓝宝石壳体与薄膜相对，被第二封条连接到薄膜外围边缘以形成一测量真空室。一端口连接真空测量单元到需要被测量的介质。至少在第一壳体的中心区域，形成了一光学透明窗口且至少在薄膜的中心区域具有一光学的反射表面。参考真空室的外部，在窗口的反方向一定距离，安排一光纤用于输入和输出光到薄膜表面。