公开号：	US7305890B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	微机电传感器
摘要：	一力或者压力变送器包括一基板，一电介质物质配置在基板上，一间距成员配置在电介质物质上，一弹性元件配置在电介质物质和间距成员上。弹性元件的一部分是和电介质物质分开的，弹性元件的另一部分和电介质物质接触。弹性元件和电介质物质之间的接触区域随着弹性元件的移动而改变。接触区域的变化改变变送器的电容，其能通过相关电路测量出来。